工場用語辞典
半導体製造装置 【よみ】 はんどうたいそうち 【英語】 Semiconductor manufacturing equipment
半導体は精密機器であり、半導体製造工程は複雑でたくさんの工程がある。
人による作業が難しい作業工程もあり、洗浄する工程で使用するはウェットエッチング装置や検査工程にて使用する外観検査装置などの半導体を製造するのに必要不可欠な装置類のことである。
半導体は精密機器であり、半導体製造工程は複雑でたくさんの工程がある。
人による作業が難しい作業工程もあり、洗浄する工程で使用するはウェットエッチング装置や検査工程にて使用する外観検査装置などの半導体を製造するのに必要不可欠な装置類のことである。