工場用語辞典
プローブカード 【よみ】 ぷろーぶかーど 【英語】 probe card
半導体製造のウエハーの検査工程においてシリコンウエハー上に形成された電子機器の電気検査をするのに使用される。
LSIチップの電極と、測定機であるLSIテスタとを接続するコネクタの役割を持つ、張りのような極細の部品である。
半導体製造のウエハーの検査工程においてシリコンウエハー上に形成された電子機器の電気検査をするのに使用される。
LSIチップの電極と、測定機であるLSIテスタとを接続するコネクタの役割を持つ、張りのような極細の部品である。