工場用語辞典

プローブカード 【よみ】 ぷろーぶかーど 【英語】 probe card

半導体製造のウエハーの検査工程においてシリコンウエハー上に形成された電子機器の電気検査をするのに使用される。

LSIチップの電極と、測定機であるLSIテスタとを接続するコネクタの役割を持つ、張りのような極細の部品である。