腐食させ溶解する加工方法である。

1. CAD等で作成された設計データから、電子ビーム等を使用して製品の元となる精密な写真製版を作成する。
2. 加工したい製品の表面に感光剤を塗布する。
3. ①を光で通し、②に映して腐食させない箇所を耐食膜で覆う。
4. ③以外の部分を腐食（溶解）させる。

この技術は複雑微細なパターンなど、細密加工も可能となる。