工場用語辞典

パーティクル測定 【よみ】 ばーてぃくるそくてい 【英語】 particle measurement

空気中や液体中の塵や埃などの微粒子を測定し、清浄度合を測定することである。

微粒子にレーザー光を当てて散乱した強さを測る。主にクリーンルームで使用されており、光が大きいと不純物が多く、改善が必要となる。