工場用語辞典

「ドライエッチング工程」。

半導体製工程の一つで、ウエハーの必要ない薄膜を全て、若しくは一部除去する工程。

半導体製造の前工程では、ドライエッチングと呼ばれる加工によって、ウェーハ上に設計どおりの寸法・形状の電子回路が実現できる。

基板に銅箔を密着させ不必要な部分を腐食させて取り除き、回路パターンのみを残して電子回路を組み付けていく。